Ein Rasterelektronenmikroskop (REM) nutzt einen hochenergetischen Elektronenstrahl, um die Probenoberfläche punktweise abzutasten und Bilder durch das Sammeln von Sekundärelektronen, Rückstreuelektronen und anderen Signalen zu erzeugen. Im Vergleich zu traditionellen Lichtmikroskopen weist das REM folgende wesentliche Merkmale auf:

Hohe Auflösung: Erreichbar bis zu 1–2 nm (abhängig vom Gerätetyp und der Elektronenquelle).

Große Schärfentiefe: Ermöglicht die Darstellung einer plastischeren Oberflächenmorphologie.

Multifunktionale Analyse: Gleichzeitige Erfassung von Informationen über Morphologie, Zusammensetzung, Kristallorientierung und lokale Defekte.

Breite Probenkompatibilität: Leitfähige oder leitfähig beschichtete Festkörperproben können direkt beobachtet werden.

Mit dem wachsenden Bedarf an hochauflösender Charakterisierung in Bereichen wie Halbleitertechnologie, Mikro-/Nanofabrikation und modernen Materialien, der feinen Struktur- und Kompositionsanalyse von Batterien, Elektrokatalysatoren und Brennstoffzellen sowie der zunehmenden Erforschung biologischer Proben wie Zellen, Mikroorganismen und Nanopharmaka, erweitern sich die Anwendungsbereiche und die Marktnachfrage nach REMs von der Forschung hin zur Industrie und von der statischen Charakterisierung hin zu multimodaler und In-situ-Charakterisierung.

In dieser Entwicklung finden Phytron VSS-Vakuum-Schrittmotoren breite Anwendung in den Kernbewegungs- und Positionierungseinheiten von REMs, einschließlich:

Mehrachsiger Antrieb des Probenstisches (Sample Stage)

Positionierung von EDS-Sonden (Energiedispersive Röntgenspektroskopie)

Bewegung und Winkeleinstellung von Rückstreuelektronendetektoren oder optischen Sonden

Da REMs höchste Anforderungen an das Antriebssystem stellen, müssen Schrittmotoren folgende Fähigkeiten aufweisen:

Eignung für Hochvakuumumgebungen

Hohe Positioniergenauigkeit

Unterstützung von Ansteuersignalen bis zu 300.000 Impulse/Sekunde

Hohe Wiederholgenauigkeit

Hohes Drehmoment bei niedrigen Geschwindigkeiten

Gewährleistung stabiler, vibrationsfreier Mikrobewegungen

Phytron führte bereits 1984 seine ersten speziell für Vakuumumgebungen entwickelten Motoren ein und hat sich durch jahrzehntelange Erfahrung und kontinuierliche Leistungsoptimierung zu einem wichtigen Lieferanten für Vakuum-Schrittmotoren entwickelt. Die VSS-Serie der zweiphasigen Hybrid-Schrittmotoren erfüllt vollständig die Anforderungen der REM-Anwendung:

Arbeitseinsatz in Vakuumumgebungen bis zu 10⁻¹¹ hPa

Haltemoment von 3,4 mNm bis 13 Nm

Schrittauflösung bis zu 1/512 im Microstepping-Modus, optional mit Encoder für präzise Positionierung

Einzigartiges Magnetkreisdesign für vibrationsfreien Haltebetrieb, besonders geeignet für die Positionierung von Sonden und Detektoren

Zusätzlich bietet Phytron an:

VGPL-Planeten-/Harmonic-Drive-Getriebe

KTC/Pt100-Temperatursensoren

Encoder- und Dual-Achsen-Optionen

um verschiedenen und kundenspezifischen Anforderungen gerecht zu werden.